凯发体育注册官网

高端凯发体育注册官网工艺装备

【1】集成电路装备

产业介绍:电控公司的集成电路装备以七星凯发体育注册官网(北方微)(A股代码:002371)为载体,借助上市平台和国家重大科技专项加快产业发展,产品以集成电路设备为主,并结合市场需求向光伏、先进封装、LED、MEMS、光波导、功率器件和化合物半导体等应用领域拓展。七星凯发体育注册官网(北方微)先后承担11项国家重大科技02专项,技术水平快速提升,填补了国内12英寸高端刻蚀机、PVD、CVD、氧化炉、清洗机等设备技术空白,大部分产品实现了28nm的产业化认证,刻蚀机、PVD已开始14nm技术的研发。 

12YINGCUN28nmKESHIJI、PVD、YANGHUALUDENGSHEBEIJUNYIJINRULEGUONEIZHIMINGJICHENGDIANLUZHIZAOQIYEDASHENGCHANXIAN,DUOKUANCHANPINYICHENGWEILED、XIANJINFENGZHUANG、MEMSDENGFANBANDAOTILINGDEZHULIUCHANPIN,SHICHANGKAITUOGONGZUOCHENGXIAOXIANZHU。QIZHONG12YINGCUN、28nmHardMask PVDSHEBEIJI12YINGCUN55nmGUIKESHISHEBEIYIZUOWEIZHONGXINGUOJIDEBaselineSHEBEI。

重要产品:刻蚀设备(Etch)、化学气相沉积设备(CVD)、物理气相沉积设备(PVD)立式炉、LPCVD、超精细清洗机、ALD设备。 

 

【2】锂电装备

BEIJINGDIANKONGKETIGONGQUANTAODELILIZIDIANCHIJIPIANSHENGCHANSUOXUDEJIAOBAN、TUBU、GUNYA、FENQIESHEBEI。

 

CHENGGONGYANZHIDARONGLIANGDE(400L、600L、800L、1000L、2000L)JIAOBANSHEBEI,YIZHANGWOZIDONGSHANGLIAOJISHU、JIAOBANGUOCHENGCHENGXUHUAKONGZHI、JIAOBANLIAOPINGJIADENGJISHU;CHENGGONGKAIFACHULEJICHUSHITUBUSHEBEI,TUBUSUDU10-20m/min(ZUIGAODADAO30m/min)。CHENGGONGKAIFACHULEYEYASIFUGUNYASHEBEI,JIPIANYAZHISUDUDADAO20-30m/min(ZUIGAODADAO60m/min),ZHANGWOLEJIPIANREYAJISHU、GUNDIANDUJISHU、AGCYEYASIFUKONGZHIXINGDENGHEXINJISHU。

 

FENQIESHEBEIKEFENQIEJUANCAIKUANDUDA700mm,SHENGCHANXIAOLVDADAO50m/min(ZUIGAOSHUIPINGDADAO80m/min),BINGKAIFALESHEBEICCDCEKONGXITONGJIANGDILECHANPINFEIPINLV。YUCITONGSHI,CHENGGONGDEDAJIANLE20000AhLILIZIDONGLIDIANCHIZHONGSHIXIAN,WEIZICHANSHEBEITIGONGLEGONGYIYANZHENGPINGTAI,JUBEITIGONGZHENGXIANJIEJUEFANGANDENENGLI。